Skripsi ini memaparkan hasil dari penelitian dan perancangan sebuah alat pencucian Wafer Silicon pada fabrikasi IC. Wafer Silicon adalah kepingan wafer yang terbuat dari pasir kuarsa yang dipadatkan lalu dipotong-potong hingga menjadi sebuah kepingan-kepingan yang berbentuk piringan. Wafer silicon dibuat sebagai bahan dasar dari sebuah IC. Sebelum diolah menjadi IC, wafer silicon harus bersih dan tidak terkontiminasi dari partikel-partikel yang mengganggu wafer sebagai fungsi utamanya. Untuk itu, penulis mencoba meneliti dan merancang alat pada prinsip pencucian wafer. Alat ini menggunakan Arduino mega 2560 pro mini, sensor suhu ds18b20 sebagai monitoring keadaan suhu bahan kimia yang dipakai untuk mencuci, LCD Touchscreen 2,4” sebagai layar serta mekanika pencucian dengan penggerak dasar dari motor stepper.

This final projects reports explains research of technology the principle wafers cleaning. Wafer silicon are the disc wafer pieces made of quartz sand and then cut into pieces of disc shaped pieces. Silicon wafer made as the base material of an IC. Before processed into IC, silicon wafers must be clean and not contaminated from particles that interfere with wafers as a function of cells. The author tries to create a technology of the principle wafers cleaning. It uses the Arduino mega 2560 pro mini, temperature sensors DS18B20 waterproof as a temperature state, 2,4” Touchscreen LCD as screen monitoring and mechanics of washing with stepper motors and DC motors.

https://elib.unikom.ac.id/gdl.php?mod=browse&op=read&id=jbptunikompp-gdl-miftahudin-39122